特點
- 采用即使在負載發生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機丟步現象的閉環控制方式，有效地提高了機械手臂的可靠性
- 電機配備值編碼器，機械手臂能夠在任何情況下知道自己的當前位置，縮短了機械手臂各動作軸尋找自身位置原點的時間
- 值編碼器為機械式，不需要更換電池
- 可以和舊型號的本司產品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對現有設備的升級改造
- 高強度手臂?手臂第3關節處可承受3 kgf力（包含腕部機構模塊，手指，晶圓的重量）
- 機械手臂標準臂長：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
- Z軸（升降軸）標準長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
- 可根據設備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
- 可選伯努利方式手指（Option）
對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規格。
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設計運用自如，降低成本。
*加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規格
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎上，解決了步進電機常見的丟步問題，適用于2寸-300 mm晶圓傳輸的新型單臂機械手臂
應用設備實例
EFEM，PE-CVD設備，AOI設備
規格
| 被搬運物 | 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓 （其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的定制設計） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節中心基準） | 340 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
| 精度* | 10.0µm以下 | 0.00515度 | 2.0µm |
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 10A 真空：優于-53 kPa | ||
*測試機型：SCR3160CSN-300-CM，使用JEL標準真空吸附式手指
