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5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號GTFR5280
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/12/19 16:47:51
  • 訪問次數(shù)7
產(chǎn)品標簽:

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北京銳潔機器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū),是由留學(xué)歸國技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)。  公司核心技術(shù)人員擁有在國內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)20年的實際從業(yè)經(jīng)驗,能夠設(shè)計可用于半導(dǎo)體設(shè)備的各種自動化設(shè)備。公司當前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂等。  公司自主獨立研發(fā)的小尺寸晶圓自動裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產(chǎn)線效率,降低生產(chǎn)成本; JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比好、穩(wěn)定性強的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。  作為日本JEL公司在中國地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國市場提供專業(yè)、高性價比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。
潔凈機械手臂
用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂。單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,適用于EFEM的晶片搬運。
5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂 產(chǎn)品信息
特點

    與我司以往產(chǎn)品的GTCR相比,減少動作禁止區(qū)域、速度限制的影響,提高傳片效率。
    (比本公司以往產(chǎn)品提高60%)

  • 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
  • 機械手臂可以單獨對應(yīng)3個FOUP(280mm臂長)
  • 雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 可以選擇單臂規(guī)格
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式, Ethernet
  • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機, 無需電池
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指

規(guī)格
機械手臂型號 GTFR5280-320-DM
被搬運物 ~300mm晶圓
晶圓吸附方式 真空吸附式
機械結(jié)構(gòu)格式 水平多關(guān)節(jié)
控制軸 5軸
電機類型 全軸采用AC伺服電機, 無需電池
可動范圍 被搬送物體中心到達距離 升降(Z軸)
893mm 320mm
搬運速度(平均) 手臂(R軸) 升降(Z軸)
900mm/sec(圓筒動作時) 320mm/sec
搬運速度() 手臂(R軸) 升降(Z軸)
1,500mm/sec(圓筒動作時) 540mm/sec
重復(fù)性精度 ±0.05 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標準 Class 1
廠務(wù) 電源:単相AC200V±10% 2kVA
真空:優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指)
質(zhì)量 機械手臂體 大約80kg

上述規(guī)格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規(guī)格的一個示例

關(guān)鍵詞:機械手 伺服電機
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