特點
- 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
- 機械手臂可以單獨對應(yīng)3個FOUP(280mm臂長)
- 雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 可以選擇單臂規(guī)格
- 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式, Ethernet
- 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機, 無需電池
- 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
- 手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
- 可以針對被搬運物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指
與我司以往產(chǎn)品的GTCR相比,減少動作禁止區(qū)域、速度限制的影響,提高傳片效率。
(比本公司以往產(chǎn)品提高60%)
規(guī)格
機械手臂型號 | GTFR5280-320-DM | |
---|---|---|
被搬運物 | ~300mm晶圓 | |
晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | |
機械結(jié)構(gòu)格式 | 水平多關(guān)節(jié) | |
控制軸 | 5軸 | |
電機類型 | 全軸采用AC伺服電機, 無需電池 | |
可動范圍 | 被搬送物體中心到達距離 | 升降(Z軸) |
893mm | 320mm | 搬運速度(平均) | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
900mm/sec(圓筒動作時) | 320mm/sec | 搬運速度() | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
1,500mm/sec(圓筒動作時) | 540mm/sec | |
重復(fù)性精度 | ±0.05 mm以內(nèi) | |
潔凈度 | ISO標準 Class 1 | |
廠務(wù) | 電源:単相AC200V±10% 2kVA 真空:優(yōu)于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |
質(zhì)量 | 機械手臂體 大約80kg |
上述規(guī)格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規(guī)格的一個示例