特點(diǎn)
- 適用于并列配置工位的傳送
- 非接觸校準(zhǔn)功能可實(shí)現(xiàn)高精度的搬運(yùn)
- 可搬運(yùn)重量10kg
帶有對(duì)應(yīng)PLP自動(dòng)校準(zhǔn)功能的4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
AOI設(shè)備
規(guī)格
被搬運(yùn)物 | 基板 500 mm x 500 mm | ||
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手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
可動(dòng)范圍* (被搬送物體中心到達(dá)距離) | 1290 mm | 330 度 | 400 mm |
搬運(yùn)速度* | 1170 mm/1.6 sec | 330 度/1.5 sec | 400 mm/1.4 sec |
精度* | 第1關(guān)節(jié)軸 (J1軸) | 第2關(guān)節(jié)軸 (J2軸) | 第3關(guān)節(jié)軸 (J3軸) |
3.5x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | |
第4關(guān)節(jié)軸 (J4軸) | |||
2.4x10-3 度 | |||
重復(fù)性精度 | ±0.2 mm以?xún)?nèi) | ||
潔凈度 | 0.3 µm/cf Class 10 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | ||
廠(chǎng)務(wù) | 電源:単相AC200V±10% 4 kVA 真空:優(yōu)于-53 kPa | ||
質(zhì)量 | 機(jī)械手臂本體 大約120 kg |
*測(cè)試機(jī)型:JCR4400-400-AM(帶有對(duì)應(yīng)PLP自動(dòng)校準(zhǔn)功能的機(jī)械手臂)