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自動(dòng)上下料晶圓開槽機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州天弘激光股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/12/14 13:15:48
  • 訪問次數(shù)9
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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蘇州天弘激光股份有限公司始創(chuàng)于2001年1月,注冊(cè)資本7232萬元。公司專注于工業(yè)數(shù)字化智能裝備的研發(fā)、制造和服務(wù),是以激光技術(shù)為核心的數(shù)字化智能裝備及自動(dòng)化產(chǎn)線提供商,主要為下游客戶提供“激光+機(jī)器視覺+自動(dòng)化+MES”的綜合解決方案。產(chǎn)品涉及激光焊接應(yīng)用裝備及自動(dòng)化生產(chǎn)線、激光精細(xì)加工系列設(shè)備、激光切割機(jī)系列設(shè)備等三大類百余種智能裝備及產(chǎn)線,主要應(yīng)用于新能源鋰電行業(yè)、新能源光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、汽車及汽車零部件行業(yè)等。技術(shù)涵蓋:軟件、機(jī)械、電氣、運(yùn)動(dòng)控制、機(jī)器人、光學(xué)、圖像、材料、激光等。 現(xiàn)分別設(shè)有蘇州總部、浙江公司、宿遷公司、廣東公司。
激光切割機(jī)
設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及Low-K 材料的開槽切割全自動(dòng)上下料,自動(dòng)對(duì)位、劃片速度快,效率高,降低破片率
自動(dòng)上下料晶圓開槽機(jī) 產(chǎn)品信息
激光器功率:
10w/15w/30w
加工幅面:
5 inch(可兼容 6inch)

產(chǎn)品特點(diǎn):

 

» 全自動(dòng)上下料,自動(dòng)對(duì)位、劃片速度快,效率高,降低破片率
» 非接觸式加工,無機(jī)械應(yīng)力,芯片質(zhì)量高
» CCD 快速定位功能,可升級(jí)雙面 CCD 識(shí)別功能
» 大理石基臺(tái),穩(wěn)定可靠,熱變形小
» 劃線工藝專家系統(tǒng)
» 晶圓背面劃刻十字對(duì)位線功能
» 配備自動(dòng)裂片設(shè)備,操作簡(jiǎn)便效率高

 

 

 

規(guī)格參數(shù):

 

設(shè)備型號(hào) TH-8211 TH-8212
激光類型 紫外 UV 紫外 UV
激光波長(zhǎng) 355nm 355nm
激光功率 10w/15w/30w 10w/15w/30w
加工晶圓尺寸上限 5 inch(可兼容 6inch) 5 inch(可兼容 6inch)
劃線速度 1000/1500/3000mm/s 50/80/100mm/s
劃線線寬 150-300μm 20-40μm
劃線線深 < 10μm(視材料而定) < 120μm(視材料而定)
系統(tǒng)定位精度 ±5μm ±5μm
重復(fù)定位精度 ±2μm ±2μm
激光器使用壽命 1.2 萬小時(shí) 1.2 萬小時(shí)
機(jī)器外型尺寸 1260*1160*1820mm 1260*1160*1820mm
整機(jī)重量 1500kg 1500kg

 

樣品展示:

 

晶圓開槽樣品

晶圓開槽樣品

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