特點
- 自動識別儲片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
- 一臺設(shè)備可以完成打包和拆包的功能
- 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
- 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
- 可自動識別晶圓高度
- 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
- 可對應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲片盒
- 配備2套高效過濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
- 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)
能夠安全，準(zhǔn)確地搬運儲片盒內(nèi)的減薄晶圓。
搭載儲片盒自動開蓋機(jī)構(gòu)（已申請）
應(yīng)用設(shè)備實例
半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線
規(guī)格
| 可對應(yīng)片盒的種類 | 200 mm 儲片盒, 200 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬運物 | 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲片盒內(nèi)墊片(片間墊片) | |||
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下) | |||
| 外形尺寸 | 1600 (寬) x 1305 (深) x 1800 (高) | |||
| 廠務(wù) | 電源：AC200V±10% 潔凈氣源：0.5 MPa 150 NL/min 以上 | |||
| 重量 | 700 kg | |||
*我司可以針對客戶對晶圓尺寸、儲片盒數(shù)量、是否需要校準(zhǔn)器等不同需求提供訂制設(shè)計。
有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格等事宜敬請咨詢我司。可對應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲片盒。更多信息請咨詢弊司。
