特點
- 儲片盒和片盒間晶圓的無損傷自動搬運
- 可選裝針對減薄晶圓的伯努利手指
- 自動識別儲片盒內晶圓和墊紙(層間紙)
- 可自動識別儲片盒內晶圓的當前高度
- 可滿足客戶對多個片盒及不同尺寸晶圓傳輸的需求
- 搭載儲片盒自動開蓋機構(已申請)
- 可對應Achilles Corporation公司生產的儲片盒
- 配備2套高效過濾裝置(HEPA規格),確保設備內部潔凈度
- 配備顏色視覺傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)
可安全準確的搬運儲片盒的的薄片。
應用設備實例
半導體工廠生產線
規格
可對應片盒的種類 | 200 mm 儲片盒, 200 mm 片盒 | |||
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被搬運物 | 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲片盒內墊片(片間墊片) | |||
潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | |||
外形尺寸 | 1100 (寬) x 980 (深) x 1805 (高) | |||
廠務 | 電源:AC200V±10% 潔凈氣源:0.5 MPa 250 NL/min 以上 | |||
重量 | 600 kg |
*我司可以針對客戶對晶圓尺寸,儲片盒數量,是否需要校準器等不同需求提供定制設計。
可對應多家廠商規格的儲片盒。有關產品規格及產品相關詳細信息請咨詢我司銷售人員。