特點
- 配備水平多軸機械手臂（GCR4310-500-AM）可以在沒有機械手臂本體水平移動軸的條件下，同時滿足4個6寸晶圓盒的晶圓傳輸
- 500 mm的Z軸行程可適應上下2層片盒的布局
- 配備手指翻轉機構的機械手臂適應于在不接觸晶圓工藝表面條件下的反裝晶圓的傳輸
- 機械手臂腕部可以安裝晶圓Mapping Sensor，用于片盒內各層晶圓的有無檢測
- 出于安全面的考慮，設備維護門上安裝有門開關傳感器，保證機械手臂動作過程中的人員安全
- 可以選裝能夠檢測玻璃（透明被搬運物）的校準器（SAL3361GR）
- 可以根據客戶端設備需求，任意修改對接模塊的設計（HOST通訊方式需要另行商議）
- 另外，根據客戶需求，可定制不同規格要求的產品
適用多種設備，通用性好，可根據客戶要求進行定制設計，系統內部使用了本公司設計生產的高性能大氣機械手臂和校準器
應用設備實例
PE-CVD設備
規格
| 被搬運物 | 150 mm 晶圓（玻璃, 藍寶石, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 處理量 | 140片/h（不包括裝備的處理時間） | |||
| 動作范圍 | 到達距離 （被搬運物體中心） | 旋轉角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | 翻轉軸 |
| 672mm | 335度 | 500 mm | 180度 | |
| 搬運速度 （平均速度） | 機械臂 | 旋轉角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 550 mm/秒 | 300度/秒 | 300 mm/秒 | ||
| 搬運速度 （速度） | 機械臂 | 旋轉角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 900 mm/秒 | 400度/秒 | 450 mm/秒 | ||
| 不配備翻轉裝置 真空吸引搬運 | 機械臂 | 旋轉角度（θ軸） | 升降軸（Z軸） | |
| 1800 mm/秒 | 540度/秒 | 500 mm/秒 | ||
| 反復偏差值 | ±0.1 mm以內 | |||
| 位置精度 | 中心定位 ±0.2mm以內 切邊定位 ±0.2度以內 | |||
| 位置確定所需時間 | 槽口檢測 3秒以內 (不實行從新夾持動作) | |||
| 位置補正范圍 | 半徑4mm以內 | |||
| <系統> | ||||
| 晶圓保持方式 | 真空吸引 | |||
| 清凈度 | ISO標準 Class 2（驅動結構內部獨立排氣條件下） | |||
| 占用空間 | 640 mm×835 mm (不包括觸摸屏) | |||
| 質量 | 大約350 kg | |||
| 廠務 | 電源：單相交流200V±10% 15A 真空：-53 kPa以上 | |||
