機(jī)械手本體采用多電機(jī)同軸結(jié)構(gòu),動(dòng)作更加靈活穩(wěn)定;高重復(fù)定位精度,并具備AWC自動(dòng)糾偏功能,保證傳片精度;耐真空性,可勝任高真空環(huán)境下晶圓傳片需求。直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖、傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能。在此基礎(chǔ)上,Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式,四手指結(jié)構(gòu),雙取雙放,大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。
參數(shù):
本體重量Body Weight | 90KG |
適用晶圓尺寸Wafer Size | 300mm/200mm |
負(fù)載Payload | 1KG |
電源輸入Power Supply | AC電壓:208V AC頻率:50HZ/60HZ |
電源范圍 電壓波動(dòng)范圍 | 單相交流208V +10%,-15% |
節(jié)拍Bear | 8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據(jù)手指材料,傳輸位置不同相關(guān)) |
動(dòng)態(tài)偏差糾正精度(AWC) | ±0.1mm |
運(yùn)動(dòng)范圍 Range | R:994mm |
T:>360° | |
Z:135mm | |
重復(fù)定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm(3σ) |
T: ±0.003°(3σ) | |
R: ±0.05mm(3σ) | |
漏率Leak rate | < 5 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 3X10-8Torr |
適用溫度 Applicable temperature | 法蘭:<90℃;本體:<50℃;手臂:<90℃ |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >12.8million cycles |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互鎖IO interlock | 支持Support |