EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統,可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構,保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全。
參數:
項 目 | Input信息 | |
Wafer規格 | 材質尺寸 | 200mm/300mm wafer |
Alignment Mark | Notch/ Flat | |
厚度 | 標準wafer | |
溫度 | ≤200℃ | |
與傳送片接觸處的材質 | 陶瓷 | |
片盒規格(類型、廠家、段數、段間距等) | Foup/Adaptor | |
AMHS(自動物料搬送系統)要求 | OHT | |
搬送精度(Alignment精度) | ±0.1mm | |
Particle Spec | ISO Class 1 | |
Throughput | >100wfrs/h | |
Stage數(LP數) | 2 | |
Load Lock | Stage數(LL) | 2 |
位置(XYZ) | 兩個LL | |
Wafer放置精度 X-Y | ±0.1mm | |
Wafer放置角度精度 | / | |
整機規格 | 參照尺寸說明 | |
Foot Print | W | ≤2100 |
D | ≤750 | |
H | ≤2500 | |
重量 | ≤1200KG | |
整機設計參照標準 | SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400 | |
軟件界面設計參考標準 | SEMI E30, E84 |