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TTS-3000 EFEM(3工位EFEM)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機(jī)器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國(guó)機(jī)器人企業(yè)及國(guó)家機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機(jī)器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價(jià)值。新松本部位于沈陽(yáng),在上海設(shè)有國(guó)際總部,在沈陽(yáng)、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時(shí),新松積極布局國(guó)際市場(chǎng),在韓國(guó)、新加坡、泰國(guó)、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈。作為中國(guó)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項(xiàng)一。成功研制了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計(jì)出口30多個(gè)國(guó)家和地區(qū),為3000余家國(guó)際企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級(jí)服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機(jī),發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代科技推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)平臺(tái)化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時(shí)代。智慧新松,未來!
工業(yè)機(jī)器人
一體化程度高,自動(dòng)化程度高,安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制。
TTS-3000 EFEM(3工位EFEM) 產(chǎn)品信息

新松一直致力于提供半導(dǎo)體晶圓加工和其他復(fù)雜的制造環(huán)境所需的高性能、超潔凈和久經(jīng)考驗(yàn)的可靠性。該三工位EFEM是集成大氣機(jī)器人,預(yù)對(duì)準(zhǔn)機(jī)以及緩存工位等部件的綜合性產(chǎn)品,可以給客戶提供晶圓傳送的一體化方案。產(chǎn)品具有很強(qiáng)的適應(yīng)性,以滿足特定的應(yīng)用需求。推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步,有效的支撐了國(guó)內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。滿足半導(dǎo)體制造商的期望和要求。

參數(shù):

項(xiàng)

Input信息

Wafer規(guī)格

材質(zhì)尺寸

300mm wafer

Alignment Mark

Notch

厚度

標(biāo)準(zhǔn)wafer

溫度

200

與傳送片接觸處的材質(zhì)

陶瓷

片盒規(guī)格(類型、廠家、段數(shù)、段間距等)

Foup

AMHS(自動(dòng)物料搬送系統(tǒng))要求

OHT

搬送精度(Alignment精度)

±0.1mm

Particle Spec

ISO Class 1

Throughput

>100wfrs/h

Stage數(shù)(LP數(shù))

3

Load Lock

Stage數(shù)(LL

3

位置(XYZ

三個(gè)LL

Wafer放置精度 X-Y

±0.1mm

Wafer放置角度精度

/

整機(jī)規(guī)格

參照尺寸說明

Foot Print

2100

750

2500

重量

1200KG

整機(jī)設(shè)計(jì)參照標(biāo)準(zhǔn)

SEMI S1-701;SEMI S2-1102;SEMI S7-96;SEMI S8-701;SEMI S9-1101;SEMI S10-1296;SEMI S13-298;SEMI E15-698;SEMI S11-1296;SEMI E54-997;SEMI E58-301;SEMI F47-400

軟件界面設(shè)計(jì)參考標(biāo)準(zhǔn)

SEMI E30, E84


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