用于IC行業FOUP自動化搬送、存儲,實現晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。優化結構及氣流流場設計,可使潔凈度達到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,有效保護FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失;全新的系統運動邏輯規劃,提高產品搬送效率;標準的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統,可實時上報系統各種狀態數據,實現工廠智能管理;可以根據客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。
參數:
設備 | IC Stocker | |
運動軸 | 行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取 | |
有效負載 | 10kg | |
控制 | PLC+PC | |
電源供應 | VAC 220V±10% | |
電機 | 伺服電機 | |
行走 | 驅動 | 齒輪齒條+減速機+電機 |
速度 | 2.2m/s | |
提升 | 驅動 | 電機減速機+同步帶+帶輪 |
速度 | 1.75m/s | |
旋轉 | 驅動 | 電機+同步帶+減速機 |
速度 | 120°/sec | |
叉取 | 驅動 | 電機減速機+同步帶+帶輪 |
上/下料時間 | 4.8s | |
叉取FOUP精度 | ±0.5mm |