用于FPD行業Mask case自動化搬送、存儲,與曝光機對接。優化結構及氣流流場設計,可使潔凈度達到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,有效保護Cassette、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失;高剛度、高可靠性設計,保護貴重Mask;標準的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統,可實時上報系統各種狀態數據,實現工廠智能管理;可以根據客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。
參數:
設備 | Stocker Crane | |
運動軸 | 行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取 | |
有效負載 | 240kg | |
控制 | PLC | |
電源供應 | HID (CPS)+ECO | |
電機 | 伺服電機 | |
行走 | 速度 | 66m/min |
提升 | 速度 | 40m/min |
旋轉 | 速度 | 180°/6s |
叉取 | 上/下料時間 | 11s |
叉取卡夾精度 | ±2mm |