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SRBZ1440A潔凈機器人

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新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)成立于2000年,隸屬,是一家以機器人技術為核心的高科技上市公司。作為中國機器人企業及國家機器人產業化基地,新松擁有完整的機器人產品線及工業4.0整體解決方案。以創新、開放和共贏的思維行業進步,以的產品和服務為客戶持續創造價值。新松本部位于沈陽,在上海設有國際總部,在沈陽、上海、杭州、青島、天津、無錫建有產業園區。同時,新松積極布局國際市場,在韓國、新加坡、泰國、香港等地設立多家控股子公司,現擁有4000余人的研發創新團隊,形成以自主核心技術、核心零部件、核心產品及行業系統解決方案為一體的全產業價值鏈。作為中國機器人產業頭雁,新松已創造了百余項一。成功研制了具有自主知識產權的工業機器人、協作機器人、移動機器人、特種機器人、服務機器人五大系列百余種產品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導體裝備、智能交通,形成產業方向,致力于打造數字化物聯新模式。產品累計出口30多個國家和地區,為3000余家國際企業提供產業升級服務。新松緊抓新一輪科技革命和產業變革契機,發揮人工智能技術的賦能效應,以工業互聯網、大數據、云計算、5G網絡等新一代科技推動機器人產業平臺化發展,打造集創新鏈、產業鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態體系。聚焦核心技術,共享智能時代。智慧新松,未來!
工業機器人
采用磁流體密封技術,網絡化控制系統,具有*的防碰撞保護功能及動態糾偏功能,擁有SEMI認證,MCBF大于1000萬次,同時具備超高潔凈度,耐高溫、耐腐蝕,負載能力強等特點。滿足個性化設計支持用戶定制,負載、手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。是大負載真空機械手的*之選。
SRBZ1440A潔凈機器人 產品信息

大負載真空機械手, LED芯片制造領域的真空機械手產品,主要用于LED芯片制造過程中,實現裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送,具有真空度高,負載大,傳輸效率高,耐高溫等特點,大大提高了LED芯片生產制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關鍵產品。傳統的LED芯片制造采用集成電路制造制程應用的真空機械手,其負載能力只有1kg。本產品在集成電路制造用真空機械手的基礎上,針對其大負載需求,創新了其傳輸結構和控制規律,使其能夠達到20.5kg的負載能力,同時保持很小的占用體積,保持高耐真空度及潔凈等級。


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結構形式Mechanical Structure柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驅動方式Driving method伺服電機Servo Motor
手數量Number of Arm單臂Single Arm
負載Payload名稱name托盤Tray
直徑diameterΦ710mm
重量weight≤10.5kg
自由度數DOF3
手臂長度Arm Length355mm

手指長度(安裝中心至硅片中心)

Finger length(distance from install center to wafer center)
765mm

運動范圍

Moving Range
Z軸Z-axis

150mm

R軸,機械手旋轉中心至工藝腔中心 R-axis, robot center to process chamber center極限(Ultimate)1440mm
θ軸θ-axis無限回轉Infinite Rotation

全行程最小時間

Minimum running time
Z軸Z-axis1s/35mm
R軸R-axis5s/伸出或縮回Extend or Retraction
θ軸θ-axis5s/180°

重復定位精度

Repeatability
θ軸(°)θ-Axis±0.01(3σ)
R軸(mm)R-Axis±0.1(3σ)

機械手帶φ710mm負載后最小回轉直徑

Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load
1530mm

伸出1440mm負載直徑710mm最前端下垂量

The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load
5.5mm
重復定位精度Repeatability±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)10--6Pa
重量Weight機械手本體Main-body100kg
控制器Controller15kg
碰撞保護Collision Protect Function

盤片和機械手無損傷/工位需重新校準
Disc and robot without damage/need to recalibrate position



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