中國臺灣ELT真空烘箱除泡機，采用真空+壓力+高溫物理除泡工藝，無塵潔凈真空環境，含氧量自動控制，快速升溫，快速降溫，揮發氣體過濾更環保，10寸工業型電腦，烘烤廢氣內循環收集，氣冷式安全設計，高潔凈選配，真空/壓力/溫度&時間彈性式設定。

真空烘箱除泡機高功率模組-納米銀膠除氣泡案例：

制程介紹:
高功率模組由于作業時產生相當高的溫度, 因此晶片的貼合無法使用一般膠材做晶片貼合. 必須使用納米銀膠利用燒結方式做晶片貼合, 以達到良好的散熱. 避免元件功能失效

常見問題:
納米銀膠燒結若于常壓下進行, 會容易發生內部孔洞之現象. 造成元件的信賴性不良

問題解決方案:
當元件于真空烘箱除泡機燒結烘烤過程中施以壓力, 將能有效達到除氣泡效果, 避免內部孔洞發生