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北京銳潔機器人科技有限公司
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3個新功能：采用閉環(huán)位置控制電機配備值編碼器編碼器不需要更換電池
對閉壞控制方式機械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
沒有水平移動軸也能夠搬運到并立配置的開閉安全門臺，由于布局設計運用自如，降低成本。
*加上揭載了搬運介紹動畫疑似多軸規(guī)格
EFEM，PE-CVD設備，AOI設備
| 被搬運物 | 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓 （其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的定制設計） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關節(jié)中心基準） | 315 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
| 精度* | 10.0µm以下 | 0.0015度 | 2.0µm |
| 重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
| 潔凈度 | ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源：DC24V±10% 10A 真空：優(yōu)于-53 kPa | ||
*測試機型：STCR4160SN，使用JEL標準真空吸附式手指
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