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3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SCR3000CSN

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2024-12-19 16:55:38瀏覽次數(shù)：9次

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產(chǎn)品簡介

3個(gè)新功能：采用閉環(huán)位置控制電機(jī)配備值編碼器編碼器不需要更換電池

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

    對(duì)閉壞控制方式機(jī)械手臂加上疑似多軸規(guī)格。
    沒有水平移動(dòng)軸也能夠搬運(yùn)到并立配置的開閉安全門臺(tái)，由于布局設(shè)計(jì)運(yùn)用自如，降低成本。
    *加上揭載了搬運(yùn)介紹動(dòng)畫疑似多軸規(guī)格

    創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)了步進(jìn)電機(jī)的閉環(huán)控制并采用機(jī)械式值編碼器，免去了機(jī)械手臂每次開機(jī)時(shí)必須尋找原點(diǎn)以及定期更換電池的繁瑣
    適用于超級(jí)潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
    在保持高性價(jià)比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見的丟步問題，適用于2寸-300 mm晶圓傳輸?shù)男滦蛦伪蹤C(jī)械手臂

  • 采用即使在負(fù)載發(fā)生突變或者加減速過大的情況也能夠避免電機(jī)丟步現(xiàn)象的閉環(huán)控制方式，有效地提高了機(jī)械手臂的可靠性
  • 電機(jī)配備值編碼器，機(jī)械手臂能夠在任何情況下知道自己的當(dāng)前位置，縮短了機(jī)械手臂各動(dòng)作軸尋找自身位置原點(diǎn)的時(shí)間
  • 值編碼器為機(jī)械式，不需要更換電池
  • 可以和舊型號(hào)的本司產(chǎn)品兼容（安裝尺寸，性能互換），方便客戶對(duì)現(xiàn)有設(shè)備的升級(jí)改造
  • 高強(qiáng)度手臂?手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3 kgf力（包含腕部機(jī)構(gòu)模塊，手指，晶圓的重量）
  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
  • 可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
  • 可選伯努利方式手指（Option）

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

EFEM，PE-CVD設(shè)備，AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物 2, 3 寸, 100～300 mm 晶圓 （其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀，材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計(jì)）
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動(dòng)范圍*
（手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）		 340 mm 340度 300 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 10.0µm以下 0.00515度 2.0µm
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
廠務(wù) 電源：DC24V±10% 10A  真空：優(yōu)于-53 kPa

*測試機(jī)型：SCR3160CSN-300-CM，使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指

關(guān)鍵詞：機(jī)械手
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