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北京銳潔機器人科技有限公司


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3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號SCR3000CS

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

塑料機械網采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-12-19 16:54:13瀏覽次數：8次

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經營模式：其他

商鋪產品：25條

所在地區：北京北京市

聯系人：王先生

產品簡介

超潔凈無塵間用3軸圓柱坐標型潔凈機械手臂SCR3000CS系列適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運

詳細介紹

特點

    產品，穩定性好，性價比高

  • 機械手臂標準臂長：100 mm，130 mm，160 mm，200 mm
  • Z軸（升降軸）標準長度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
  • 可搬運重量：手臂第3關節處基準3 kgf以下
  • 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
  • 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

EFEM，PE-CVD設備，AOI設備

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
（手臂第3關節中心基準）		 340 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 12.6µm以下 0.0045度 6.25 µm
搬運高度* 536mm (底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度)
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務 電源：DC24V±10% 15A  真空：優于-53 kPa

*測試機型：SCR3160CS-300-PM，使用JEL標準真空吸附式手指

關鍵詞：機械手
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