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4軸圓柱坐標型雙臂潔凈機械手臂

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具體成交價以合同協議為準

產品型號MTCR4000

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

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更新時間：2024-12-19 16:52:56瀏覽次數：9次

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產品簡介

超潔凈無塵間用300 mm晶圓對應MTCR4000系列適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求比MTHR系列具有更好的性價比優勢

詳細介紹

特點

    雙手臂結構，晶圓搬運效率更高，可使用AC200伏電壓

  • 機械手臂標準臂長：160 mm
  • Z軸（升降軸）標準長度：300 mm
  • 可搬運重量：手臂第3關節處基準4kgf以下
  • 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸使用值編碼器規格的AC伺服電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
  • 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

EFEM；PE-CVD設備；AOI設備

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
（手臂第3關節中心基準）		 315 mm 340度 300 mm
搬運速度 (平均速度)* 850 mm/sec 340度/sec 330 mm/sec
搬運速度 (速度)* 1800 mm/sec 550度/sec 500 mm/sec
精度* 9.82 µm以下 0.0015度 1.96µm
搬運高度* 674.5 mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度）
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 ISO標準 Class 2 (驅動結構內部獨立排氣條件下)
廠務 電源：単相AC200V±10% 3 kVA
真空：優于-53 kPa

*測試機型：MTCR4160-300-AM，使用JEL標準真空吸附式手指

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