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北京銳潔機器人科技有限公司
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AOI設備
帶有對應PLP自動校準功能的4軸水平多關節型潔凈機械手臂
AOI設備
| 被搬運物 | 基板 500 mm x 500 mm | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉 | 升降 | |
| 可動范圍* （被搬送物體中心到達距離） | 1290 mm | 330 度 | 400 mm |
| 搬運速度* | 1170 mm/1.6 sec | 330 度/1.5 sec | 400 mm/1.4 sec |
| 精度* | 第1關節軸 (J1軸) | 第2關節軸 (J2軸) | 第3關節軸 (J3軸) |
| 3.5x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | |
| 第4關節軸 (J4軸) | |||
| 2.4x10-3 度 | |||
| 重復性精度 | ±0.2 mm以內 | ||
| 潔凈度 | 0.3 µm/cf Class 10 (驅動結構內部獨立排氣條件下) | ||
| 廠務 | 電源：単相AC200V±10% 4 kVA 真空：優于-53 kPa | ||
| 質量 | 機械手臂本體 大約120 kg | ||
*測試機型：JCR4400-400-AM（帶有對應PLP自動校準功能的機械手臂）
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