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5軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號GTCR5000-AM

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2024-12-19 16:49:15瀏覽次數(shù)：5次

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產(chǎn)品簡介

EFEM；AOI設(shè)備

詳細(xì)介紹

特點

    擁有適應(yīng)各種不同設(shè)備布局的優(yōu)點，采用動力強(qiáng)勁的伺服電機(jī)，雙手臂結(jié)構(gòu)，晶圓搬運(yùn)效率更高，可使用AC200伏電壓

  • 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：210 mm，280 mm
  • 機(jī)械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210 mm臂長）、或者3個FOUP（280 mm臂長）
  • Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：300 mm
  • 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)4kgf以下
  • 雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
  • 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
  • 配備動作監(jiān)視器
  • 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
  • 通過S曲線加減速控制方式以及對運(yùn)動軌跡的優(yōu)化
    能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
  • 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
  • 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
  • 可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指

應(yīng)用設(shè)備實例

EFEM；AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉(zhuǎn) 升降
可動范圍*
（手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)）		 553mm 335度 300 mm
搬運(yùn)速度 (平均速度)* 833mm/sec 250度/sec 300 mm/sec
搬運(yùn)速度 (速度)* 1400 mm/sec 350度/sec 450 mm/sec
精度* 0.0011度 0.0011度 1.96µm
搬運(yùn)高度* 698mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度）
重復(fù)性精度 ±0.1 mm以內(nèi)
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2（驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨立排氣條件下）
廠務(wù) 電源：単相AC200V±10% 2 kVA
真空：優(yōu)于-53 kPa

*測試機(jī)型：GTCR5280-300-AM，使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指

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