注塑機 擠出機 造粒機 吹膜機 吹塑機 吹瓶機 成型機 吸塑機 滾塑機 管材生產線 板材生產線 型材生產線 片材生產線 發泡設備 塑料壓延機
成都萊普科技股份有限公司
成都萊普科技股份有限公司
晶圓獲得極淺的原始雜質離子注入后，采用激光瞬間退火來激活雜質，并精確控制注入離子的峰值深度，保證注入雜質不發生明顯的擴散再分布，獲得合格的超淺結源漏區。
＜ 50nm 結深控制
低至 10nm 以內的峰值濃度深度控制
優異的雜質形貌分布和均勻性
WPH 高達 25
完整的全程監控反饋功能
背照式圖像傳感器晶圓
| 項目 | LA2515 |
| 晶圓尺寸 | 4/6、6/8 inch 兼容 |
| 激光功率 | 15W/13W |
| 典型掃描時間 | 90 sec/p@ 6 inch |
| 激光能量密度 | 0.3-3J/cm2 |
| 激活率 | ≥ 95% @B Implant |
| 均勻性 | 片內：≤ 1%，片間：≤ 1%，@6 inch，RS |
| 自動傳片系統 | 雙 LoadPort、多關節機器手、預準直器 |
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
塑料機械網 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
