激光切割機(jī)刻蝕率對(duì)入射能量的依賴關(guān)系是人們研究zui多的問(wèn)題。激光切割機(jī)刻蝕率隨著激光切割機(jī)中激光入射能量的變化曲線稱為刻蝕率曲線。在刻蝕率曲線中，刻蝕閾值Fth是一個(gè)重要的參數(shù)，就是發(fā)生明顯的刻蝕需要的單脈沖入射能量。在激光切割機(jī)入射能量未達(dá)到刻蝕閾值的時(shí)候，也并不是不發(fā)生刻蝕。激光切割機(jī)刻蝕過(guò)程在刻蝕閾值處爆炸性開(kāi)始，曲線陡峭上升。在此之前較低的入射能量下，也發(fā)生了刻蝕，只是刻蝕率很小。刻蝕率和刻蝕閾值嚴(yán)重依賴于材料的物理化學(xué)性質(zhì)和光波長(zhǎng)。對(duì)于同一波長(zhǎng)，不同的材料或者化學(xué)成分和制作工藝稍有不同，刻蝕率和刻蝕閾值也不相同。人們普遍認(rèn)為PMMA的248nm準(zhǔn)分子激光的刻蝕閾值為0.65J/cm2左右。改變激光切割機(jī)中激光入射能量，從0～14.7J/cm2,脈沖個(gè)數(shù)為10，刻蝕結(jié)構(gòu)為lOOum的圓孔，用SIS-2000型三維形貌測(cè)試儀測(cè)量了刻蝕深度，得到的刻蝕率離散點(diǎn)。

    從中可知，248nm的準(zhǔn)分子激光切割機(jī)中激光器刻蝕PMMA的刻蝕閾值在0.65J/cm2左右。在激光切割機(jī)中激光入射能量達(dá)到刻蝕閾值0.65J/cm2之前，不發(fā)生明顯刻蝕，隨后刻蝕率隨著入射能量的增加而急劇增大并達(dá)到飽和，在達(dá)到zui大3.3um之后，隨著入射能量的增加反而減小。人們對(duì)準(zhǔn)分子激光切割機(jī)中激光刻蝕聚合物材料的研究，一般在刻蝕閾值附近積累了大量的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并建立了大量的物理化學(xué)模型。研究刻蝕閾值之前和附近的刻蝕行為，這對(duì)研究材料的刻蝕特點(diǎn)、建立理化模型是非常有益的。但是從準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工的角度，只有入射激光能量遠(yuǎn)大于刻蝕閾值時(shí)，高效率、精確地控制刻蝕深度才有可能。對(duì)中入射能量大于1.5J/cm2的PMMA的刻蝕率做了詳細(xì)的研究。

激光切割機(jī)在加工過(guò)程中，產(chǎn)生的激光切割方式，在很多的商家眼里成為刻蝕，因?yàn)榧す馇懈顧C(jī)工作的原理就是在材料的表面形成一條切割的縫隙，當(dāng)切割的參數(shù)調(diào)試部一樣，也可以形成一條刻蝕的線路，因此激光切割機(jī)的加工原理可以叫做為激光刻蝕，然而刻蝕的工作原理是怎么樣的，下面光博士帶各位分析下。

   在激光切割機(jī)的入射能量為14.7J/cm2的條件下，測(cè)量了不同的脈沖數(shù)下的刻蝕深度，該直線的斜率就是刻蝕率x=h/n.可以看到激光切割機(jī)刻蝕深度和脈沖基本是嚴(yán)格的比例關(guān)系，這對(duì)于嚴(yán)格控制刻蝕深度是非常有利的。在幾十個(gè)脈沖內(nèi)，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)刻蝕率隨著脈沖數(shù)的增加而升高的PPR效應(yīng)，這和上面的理論分析是*的。

   激光切割機(jī)刻蝕脈沖數(shù)的增加對(duì)刻蝕率的影響并不明顯。但是，隨著激光切割機(jī)刻蝕深度的增加，被刻蝕材料表面與像面間的距離會(huì)逐漸增大并導(dǎo)致了該表面上入射激光能量密度的降低，因此會(huì)降低刻蝕率。所以，刻蝕深度不能*由刻蝕率與脈沖個(gè)數(shù)的乘積得到。根據(jù)激光切割機(jī)測(cè)試結(jié)果，計(jì)算出不同脈沖數(shù)下對(duì)應(yīng)的刻蝕率，變化趨勢(shì)線。由中可知，隨著脈沖數(shù)的增加刻蝕率明顯下降，和上面的理論分析相*。