激光切割機的工作原理在前面有介紹，當激光束輻照在材料表面，一部分被反射（記為R）；透過的部分在材料內(nèi)部被吸收，強度相應衰減。衰減規(guī)律按比爾定律吸收系數(shù)的倒數(shù)記作光學穿透深度，在光學穿透深度以下，激光切割機激光強度降到入射時的1/e.提出光分解燒蝕模型中，發(fā)色團吸收輻射。當受激的發(fā)色團密度超過一定閾值后，大分子分解為小的揮發(fā)性物質(zhì)，從體材表面以很高的速度逃逸，并帶走吸收激光能量的大部分。當在體材內(nèi)的激光切割機激光強度按比爾定律減少時，受激發(fā)色團的強度也減小，直到在一定深度h處達到分解閾值e.通過重演比爾定律和導出表達式e=I*T（T：激光脈沖長度），燒蝕深度可以表述為兩個材料參數(shù)a和e和激光通量e的函數(shù)由于實際的原因，項（1-R）被忽略，既然反射率R對高聚物而言是0.05（垂直入射）。

     典型的激光切割機刻蝕率曲線所示，該反映聚酰亞胺對不同波長的燒蝕情況。刻蝕率正好在1um/脈沖，說明單脈沖去除幾百個納米的薄層是可能的。上面公式（6-47）的關(guān)系符合數(shù)據(jù)的半對數(shù)擬和線；數(shù)據(jù)點的數(shù)值評價可以導致a和e的求導。簡單的激光切割機模型和實驗結(jié)果對大多數(shù)高聚物在較低光通量時（≈lOe）較接近，上面的求導可導致較陡的線型（見圖6.24中308nm的數(shù)據(jù)線）或更平的斜線（見圖6. 33中193nm的線型）.這一原因可以在光化學過程影響吸收性能和退化動力學中發(fā)現(xiàn)，在此處不再詳細討論。一般情況，激光切割機燒蝕速率取決于材料、波長、周圍大氣和光束的幾何參數(shù)。

       值得一說的顯著特征是燒蝕羽輝的形成。當激光切割機中激光束達到材料表面，很快材料就會以氣體、團簇和微粒的形式向外噴出。高速攝影捕捉圖像顯示在激光脈沖前沿到達幾納秒后，氣化就開始產(chǎn)生，沖擊波也得以形成。在整個準分子激光脈沖期間（FWHM為10~30ns），激光切割機激光輻射和材料間相互作用的過程一直存在.一般每個脈沖的去除深度定義為刻蝕率或刻蝕系數(shù)，以um/pulse表示。以高聚物的準分子激光刻蝕加工為例的激光刻蝕工藝。

        激光切割機刻蝕率就是材料從激光脈沖的曝光區(qū)域去除的速度。研究聚合物刻蝕zui簡單有效的方法就是測量激光切割機的刻蝕率。在準分子激光切割機刻蝕聚合物材料的研究中，刻蝕率是一個重要的參數(shù)，刻蝕率高則意味著激光切割機加工效率高。現(xiàn)在已經(jīng)知道了很多種類的聚合物和很大范圍的激光波長相互作用的刻蝕率，對于波長為248nm的準分子激光切割機，聚氨酯（PUR）zui高刻蝕率為1.3um/pulse，有機玻璃（PMMA）為4.2um/pulse，聚四氟乙烯（PTFE）和聚乙烯對苯二甲酯（PET）為0.85um/pulse，聚碳酸酯（PC）為0.6um/pulse.

    用x表示刻蝕率，用F表示光通量。這里的刻蝕率定義為單激光切割機脈沖固體表面的刻蝕深度，通常由測量出的n個脈沖產(chǎn)生的刻蝕深度h導出，即x=h/n.刻蝕率和入射激光波長、聚合物的有效吸收系數(shù)、脈沖重復頻率、脈沖數(shù)、激光入射能量等都有關(guān)系。

    脈沖重復頻率對刻蝕率的影響主要表現(xiàn)為PRR（pulse repetition rate，激光切割機激光脈沖頻率）效應，即激光脈沖頻率的升高會導致刻蝕率的升高，這一效應與激光脈沖個數(shù)和激光能量之間也有著密切的關(guān)系。產(chǎn)生PRR效應的zui小重復頻率，D為熱擴散系數(shù)；a為有效吸收系數(shù)；n為脈沖個數(shù)。對于PMMA材料，在同～加工處所刻蝕的脈沖數(shù)n一般小于50，因此，脈沖頻率至少為1340Hz以上才會產(chǎn)生PRR效應。在實際的操作中，激光切割機的激光頻率工作一般為1～5Hz，出現(xiàn)PRR效應的脈沖個數(shù)在13000~67000之間。所以在低脈沖重頻率的*刻蝕PMMA的過程中，PRR效應可以忽略不計。下面我們將著重研究刻蝕率和脈沖數(shù)、激光入射能量的關(guān)系。