特點

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬運，雙手臂結構，玻璃基板搬運效率更高



• 機械手臂標準臂長：400 mm，500 mm
• Z軸（升降軸）標準長度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z軸超過760 mm以上為多段式，實物和照片的外觀不同）
• 可搬運重量：手臂第3關節處基準15 kgf以下(400 mm，500 mm)
• 雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
• 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
• 配備動作監視器
• 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
• 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
• S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板
• 基板固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
• 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
• 手指可以安裝多種傳感器（校準，有無，Mapping等）
• 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

AOI設備；液晶工廠內生產線