● 全自動(dòng)運(yùn)行,隱形切割
● 超高的加工精度
● 斜裂方向檢測(cè),防止誤切割
● 多焦點(diǎn)切割,裂片直線度好,極小的斜裂角
● 側(cè)壁光滑,產(chǎn)品電測(cè)性能好
● 適應(yīng)4-8寸Mini LED晶圓
● 運(yùn)行穩(wěn)定, 便于維修
項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
設(shè)備型號(hào) | G6009 |
激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
激光壽命 | ≥20000小時(shí) |
平臺(tái)精度 | 重復(fù)精度±0. 5um ,定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
平臺(tái)運(yùn)行速度 | 運(yùn)行速度800mm/s ,速度1000mm/s |
平臺(tái)運(yùn)行加速度 | 運(yùn)行加速度1.8G ,加速度2. 5G |
平臺(tái)切割范圍 | 300* 300mm |
適應(yīng)產(chǎn)品尺寸 | 4 -8寸晶圓 |
適應(yīng)材質(zhì) | 藍(lán)寶石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
控制及軟件 | LASER STUDIO ,集成視覺 、激光和運(yùn)動(dòng) |
設(shè)備重量 | 2500kg |