無機非金屬材料如陶瓷、單晶、玻璃等與準分子激光切割機相互作用具有以下特點：①切割閾值能量密度比高分子聚合物和天然有機物高得多。如硼硅玻璃高達7.5J/cm2.②潛伏效應顯著。特別是硼硅玻璃在激光切割機開始后，在比閾值低得多的能量密度下也能高速率激光切割。③除玻璃外，其余材料的激光切割速率都很低。在入射激光能量密度高達30J/cm2情況下，刻蝕去除率不超過0.5um/pulse.④熔化重凝現(xiàn)象十分明顯，在較高能量密度和稍高脈沖重復率（4～10Hz）情況下，僅憑肉眼觀察即可肯定。
 

   20世紀80年代飛秒激光器在美國問世，飛秒技術得到迅速發(fā)展，90年代初，隨著寬帶可調諧激光晶體和自鎖模技術的出現(xiàn)，飛秒激光切割技術得到了突飛猛進的發(fā)展。以摻鈦藍寶石為代表的新一代飛秒激光器輸出光脈沖的持續(xù)時間zui短可至5fs，激光中心波長位于近紅外波段（-800nm），特別是借助于啁啾脈沖放大技術，單個脈沖能量從幾個納焦耳就可放大至幾百毫焦耳、甚至焦耳量級，此時脈沖的峰值功率可達GW（10\9W）或TW（10\12W），再經(jīng)過聚焦后的功率密度為lo～10\18W/cm2，甚至更高，在這種工作條件下，任何物質都將在瞬間內轉變成“灰飛煙滅’’，消失得“無影無蹤”！具有如此*峰值強度和極短持續(xù)時間的光脈沖與物質相互作用時，瞬間內的高能量密度沉積將使物質內部電子的吸收和運動方式發(fā)生變化，由于其能夠以極快的速度將其全部能量注入到很小的作用區(qū)域，避免了激光線性吸收、能量轉移和擴散等因素的影響，從而在根本上改變了激光與物質相互作用的機制，使飛秒激光加工成為具有超高精度、超高空間分辨率和超高廣泛性的非熱熔“冷”處理過程。

    飛秒激光加工與傳統(tǒng)的加工用激光器如二氧化碳（C02）激光器、固體Nd：YAG激光器相比較，由于飛秒激光切割機加工不產(chǎn)生熱影響區(qū)，能夠得到更高的加工精度；與*相比，雖然*的波長更加短，但是由于它的輻射能夠被大多數(shù)透明材料吸收，只能進行表面加工，而使用飛秒激光器不僅能夠進行表面微加工，還能進行體內微加工（材料透明情況下），且加工精度不低于使用*所達到的。飛秒激光加工所具有的*優(yōu)勢引起了人們的關注，使該技術得到了廣泛的發(fā)展，開創(chuàng)了激光切割機加工的嶄新領域。