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晶圓激光開槽設備(low-k)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱蘇州德龍激光股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2024/11/25 17:13:28
  • 訪問次數27
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蘇州德龍激光股份有限公司成立于2005年,位于蘇州工業園區,由中、澳兩方投資創立,致力于研發、生產和銷售各類工業應用激光設備,德龍激光深耕于激光精細微加工領域,利用超快激光技術,為各種超薄、超硬、脆性、柔性、透明材料提供激光解決方案。憑借的激光發生器技術、高精度運動控制技術以及深厚的激光微加工工藝積累,聚焦于半導體、顯示、5G等行業的激光工業應用,用激光賦能現代制造。 公司是國家火炬計劃重點企業、江蘇省、、、聯合認定的企業、江蘇省科技型中小企業、江蘇省創新型企業、蘇州市創新先鋒企業、蘇州工業園區高成長性企業,建有江蘇省認定企業技術中心、江蘇省太陽能電池激光加工工程技術研究中心、江蘇省激光材料與器件重點實驗室、蘇州工業園區博士后科研工作站分站等高規格、高水平的技術研發平臺。 公司一貫重視在研發方面的投入,培養了一支包括激光、光學、機械、電子、控制、軟件和工藝等專業的工程師隊伍,建有各類激光應用超凈實驗室和潔凈生產車間,并配備了的紫外激光加工系統、超短脈沖微加工系統以及各種精密檢測儀器,為自主研發提供了完備的硬件保障。 德龍激光立足,以“誠信、敬業、團隊、創新”的企業精神,經過十多年的長足發展,在同行及在客戶中贏得了口碑和信任,目前公司已進入穩定發展期。我們在蘇州、無錫、廈門、深圳等地均設有下屬子公司,在美國、日本等地還設有境外子公司,為德龍激光化事業鋪設道路。
陶瓷激光切割機
AS-5380利用高質量光束在晶圓切割道內進行表面刻線,劃槽加工
晶圓激光開槽設備(low-k) 產品信息

AS-5380利用高質量光束在晶圓切割道內進行表面刻線,劃槽加工





設備優勢:

  ◆ 有效減小崩邊和脫層,提高良率

  ◆ 開槽寬度,深度可調節

  ◆ 全自動運行,集成保護液涂覆,晶圓開槽,清洗模塊


工藝流程:

  保護液涂覆---激光開槽---二流體水清洗





◆ 加工對象:low-k晶圓

◆ 激光種類:紫外半導體泵浦激光器

◆ 激光功率:≧5W

◆ 冷卻方式:封閉式循環水冷

◆ X軸:行程450mm,解析度0.1μm

◆ Y軸:行程500mm,解析度0.1μm

◆ Z軸:行程15mm,解析度0.1μm

◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°

◆ 開槽深度:>10μm

◆ 切割軸速度:0-500mm/s

◆ 加工尺寸:12寸

◆ 上表面精度:0.01mm/300mm 

◆ 清洗盤轉速:2500r/min

◆ 位置精度:0.01°

◆ 加工方式:正面開槽,全自動加工

對焦方式:自動對焦

◆ 打光系統:點光源





應用材料和領域:

  ◆ 應用于半導體行業40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開槽

  ◆ 適用于表面需要進行劃線或者開細槽加工的半導體晶圓


加工效果示例圖:

    





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