● 激光最小聚焦光斑2um超微孔加工
● 行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150
● 20000孔/秒的超快加工速度
● 可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔
● 微孔真圓度高，的垂直度
● 孔側(cè)壁光潔度可做到100nm
● 適應(yīng)鈣鈉玻璃，鋁硅玻璃，石英，寶石等透明材質(zhì)
| 設(shè)備型號 | G6006 |
| 平臺精度 | 重復精度2um ，定位精度±5um@20 ±1℃ |
| 平臺運行速度 | 運行速度1000mm/s,速度2000mm/s |
| 平臺運行加速度 | 運行加速度2G ，加速度4G |
| 打孔效率 | 常規(guī)5000孔/秒 ，20000孔/秒 |
| 孔徑尺寸 | 2 -200um±100nm |
| 內(nèi)壁光潔度 | 100nm |
| 孔錐度 | 90±15 ° , 錐度精度±0.2 ° |
| 平臺切割范圍 | 510mm* 515mm |
| 加工玻璃厚度 | 30um -2mm |
| 經(jīng)深比 | 常規(guī)1:50 1:150 |
| 適應(yīng)產(chǎn)品 | 玻璃晶圓 ，微流控芯片 ，MEMS， 5G射頻 ，傳感器 |
| 適應(yīng)材質(zhì) | 藍寶石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
