● 行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150
● 5000孔/秒的超快加工速度
● 可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔
● 微孔真元度高，的垂直度
● 孔側(cè)壁光潔度可做到100nm
● 適應(yīng)鈣鈉玻璃，鋁硅玻璃，石英，寶石等透明材質(zhì)
| 項目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 設(shè)備型號 | G6000 |
| 平臺精度 | 重復(fù)精度±0.4um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平臺運行速度 | 運行速度1000mm/s，速度2000mm/s |
| 平臺運行加速度 | 運行加速度2G，加速度4G |
| 打孔效率 | 常規(guī)5000孔/秒，10000孔/秒 |
| 孔徑尺寸 | 2-200um±100nm |
| 內(nèi)壁光潔度 | 100nm |
| 孔錐度 | 90±20°，錐度精度±0.2° |
| 平臺切割范圍 | 300*300mm |
| 加工玻璃厚度 | 100um-3mm |
| 徑深比 | 常規(guī)1：501：150 |
| 適應(yīng)產(chǎn)品 | 玻璃晶圓，微流控芯片，MEMS，5G射頻，傳感器 |
| 適應(yīng)材質(zhì) | 藍寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm |
