設(shè)備特點(diǎn)
本設(shè)備將激光聚焦到材料內(nèi) 部切割,全自動(dòng)運(yùn)行,加工4寸、 8寸片,操作、維修方便。整機(jī) 穩(wěn)定性好。 應(yīng)用領(lǐng)域
本設(shè)備適用晶圓切割
樣品展示
設(shè)備參數(shù)
項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
切割激光器 | 1064nm皮秒 |
激光最小聚焦光斑 | 20um |
激光功率 | 50W皮秒 |
激光器壽命 | >20000小時(shí) |
切割方式 | 切割頭方式 |
平臺(tái)速度 | 速度1000mm/s,加速度1G |
精度 | 重復(fù)≤±2μm,定位精度s±3μm@20℃±1℃,50% |
切割范圍 | 300mm*300mm |
切割厚度 | 玻璃∶≤1.2mm,藍(lán)寶石∶≤0.5mm |
機(jī)器控制系統(tǒng)軟件 | LASER STUDIO,集成視覺、激光和運(yùn)動(dòng) |
電力需求 | 380V/50Hz/4.5KVA |
設(shè)備總重 | 250OKg |