X-Prep®Vision™是一種計(jì)量工具,可以測量硅和半透明基板。對于需yao均勻減薄到特定目標(biāo)且公差為+/- 3 µm或更高的應(yīng)用場合來說是必要的。
X-Prep®夾具適配器也固定在 X-Prep®Vision™的電動(dòng)工作臺(tái)上 ,確保在系統(tǒng)之間傳輸時(shí),測量/工具控制坐標(biāo)保持對齊。
每個(gè)系統(tǒng)都包含具有130多種材料的庫(例如, GaAs,InGaAs,SiC,藍(lán)寶石/ Al 2 O 3,InP,SiGe,GaN,光刻膠)。
測量與觀察-工作原理
紅外光聚焦到樣品上,并基于材料的折射率創(chuàng)建信號。返回信號由軟件分析以產(chǎn)生厚度值。
厚度低于10 µm
對于需yao減薄至小于10 µm的應(yīng)用,只有添加可見光光譜儀附件,才能進(jìn)行精準(zhǔn)測量。
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特征
多點(diǎn)掃描或單點(diǎn)厚度測量 | 10微米至全厚度(1 mm)的測量范圍(使用#15-51000光譜儀進(jìn)行配置時(shí),厚度為15 nm至1 mm) | |
電動(dòng)自動(dòng)X / Y / Z(自動(dòng)對焦),采集時(shí)間不到1秒 | 自動(dòng)邊緣和角落檢測可將測量網(wǎng)格與X-Prep®對齊-包括theta校正 | |
X / Y輸入的邊緣排除 | 裝有X-Prep®夾具適配器的載物臺(tái) | |
“協(xié)調(diào)開車”軟件導(dǎo)航 | 查看2D繪圖/地圖或3D圖形 | |
隨附Allied專有的X-Correct™軟件 | 如果不購買可見光譜儀(#15-51000),則必須單獨(dú)購買CCD相機(jī)(#15-50020) | |
粗糙度-15微米拋光 | 100 mm x 100 mm工作臺(tái)行程 | |
可通過.NET擴(kuò)展軟件自動(dòng)化 | 使用標(biāo)準(zhǔn)Windows方法導(dǎo)出數(shù)據(jù) | |
一(1)年保修 | 尺寸:14英寸(寬)x 17英寸(深)x 19英寸(高)(355 x 431 x 483毫米) |
產(chǎn)品型號
產(chǎn)品編號 | 規(guī)格描述 |
15-50100 | X-PREP®VISION™100基板測量儀器 100-240V AC 100 mm x 100 mm X / Y 位移臺(tái) |
產(chǎn)品附件
產(chǎn)品編號 | 規(guī)格描述 |
15-51000 | 可見光譜儀和照相機(jī) |
15-50020 | CCD相機(jī) |