金屬反射鏡或介質(zhì)膜反射鏡都可以作為導(dǎo)光反射鏡，是激光雕刻切割機(jī)中的一大重要部分。對金屬反射鏡而言，只有鋁適合作為高反射率材料。在激光雕刻切割機(jī)的使用中，作為激光設(shè)備在金屬材料的加工，鋁鏡也有缺點(diǎn)就是它非常軟，并且容易在經(jīng)過一段時間后形成氧化鋁層，又再一次吸收紫外光。如果鋁鏡和MgF2層一起鍍膜，則可以獲得在紫外區(qū)的高反射率，提高激光雕刻切割機(jī)中的高效，并且耐用性也得以提高。在193nm，反射率約80%.高質(zhì)量的反射鏡可以用介質(zhì)鏡獲得。給出了高反射率介質(zhì)反射鏡的透過率曲線.
    在UV區(qū)域，同樣的困難再次出現(xiàn)，就是只有幾種材料適合作鍍膜材料。在200nm以下，高折射物質(zhì)有Al203、SC203、Hf02低折射率物質(zhì)MgF2和Si02是zui合適的材料?？色@得的反射率達(dá)99.8%.

    被經(jīng)常應(yīng)用的望遠(yuǎn)鏡是兩個正透鏡的伽利略型望遠(yuǎn)鏡。其共軛平面被設(shè)計到接近激光輸出窗口（距離<lOOOmm）和均束器的出口孔徑處。相對激光雕刻切割機(jī)而言，開普勒望遠(yuǎn)鏡（正和負(fù)透鏡）能被使用以節(jié)約空間。但它的缺點(diǎn)是共軛平面在無窮遠(yuǎn)處，并且沒有孔徑被成像（更精確，在出口處或靠近準(zhǔn)分子激光諧振腔處的近場剖面）。
    衰減準(zhǔn)分子紫外激光切割機(jī)zui簡單的方法是在光路中置入紫外透明的窗口。每個窗口存在近8%的損耗。使用幾個窗口可以獲得不同的可選的衰減量，但對獲得大的衰減量，相對成本就比較昂貴。
    較經(jīng)濟(jì)的方法是使用中性濾光片。包含金屬鍍層的中性濾光片，只能使用在低能量密度的情況下，因為金屬中存在的紫外光吸收。

    衰減片襯底當(dāng)然使用對UV透明的材料。當(dāng)金屬鍍層變化的時候，可以獲得不同的濾光片透過率。在紫外區(qū)域，石英或GaF2襯底都可以使用。鋁、金或鎳鍍層也可作為中性鋁光片使用在紫外區(qū)，一般鍍層厚度在幾個納米。
    一個比較好的使用可變衰減的衰減方法是介質(zhì)截止濾光片。截止濾光片，像介質(zhì)反射鏡，包含可變的r/4波長層，它有非常尖銳的在相應(yīng)范圍的傳輸截止線。
    對于小衰減量：多片透光鏡組合，每片的衰減量為8%；
    中性濾光片：帶鍍層金屬，適用于低功率密度光照衰減。襯底：石英，CaF2晶體。鍍層：鋁、金、鎳。透光率隨膜層厚度而變化，其厚度一般為幾個納米的量級。

    角度衰減器：結(jié)構(gòu)如同多層（即多層r／4波長交替）介質(zhì)反射鏡，具有截止濾光功能，隨入射角度的不同透過率不同，具有很陡的透過率截止曲線。對248nm，在10度的時候透過率可達(dá)到90%；當(dāng)入射角增加時，透射率較大幅度的減小。
    破壞閾值：介質(zhì)反射鏡，在248nm，小于10J/cm2.金屬紫外激光切割機(jī)反射鏡和濾光鏡在小于200mj/cm2下使用。破壞閾值也與鏡片質(zhì)量有關(guān)。隨作用脈沖數(shù)的增加，破壞閾值將不同程度的減小。未鍍膜基片的破壞閾值一般高于介質(zhì)反射鏡。