輪廓測量軟件特征:
? 建立回歸直線和圓形
? 建立點、交點、自由點、中心點、點和點
? 建立坐標系統
? 計算半徑、距離、角度、坐標及線性偏差
Mahr馬爾MarSurf XC2輪廓儀
入門級高精度輪廓測量儀
快速高性價比的2D 輪廓測量系統為用途泛的測量系統.
Mahr馬爾MarSurf XC 2輪廓儀
測量原理 : 觸針法
傳感器 : 測尖和測臂及驅動器 CD120
水平測量長度 :120 mm
垂直測量范圍 : 50 mm 或 + 25 mm
放大倍率 : 20 倍
輪廊各取點的距離 : 0.07 um 當掃描速度為 0.1 mm/s
0.35 um 當掃描速度為 0.5 mm/s
輪廓參數 : 曲率半徑, 角度, 距離, 坐標, 回歸直線的插入和創作,
圓, 圓截面, 確定各個點, 相交各點,坐標軸, 直線, 垂直
線, 圓和圓截面.
校準 : 校準程序

技術數據
驅動單元 CD 120 
掃瞄長度 (X方向) 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
測量范圍 (Z方向) 50 mm (1.97 in), 適用于 350 mm (13.78 in) 測臂
                 25 mm (0.98 in), 適用于 175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統 (X方向) 高精度光柵測量系統(出廠經激光干涉儀校準)
測量系統 (Z方向) 電感傳感器*, 高精度, 高線性度
測針分辨率( Z方向) 0.38 μm (15 μin), 適用于350 mm (13.78 in) 測臂
                   0.19 μm (7.5 μin), 適用于175 mm (6.89 in) 測臂
測量系統分辨率( Z方向) 0.04 μm (1.6 μin)
行程偏差 < 1 μm (40 μin) (在120 mm (4.72 in)全行程內)
測力 (Z方向) 1 mN 至 120 mN, 向上和向下
(可在 MarSurf XC 2設定)
行程升角 在光滑表面, 取決于表面傾斜程度:
向下降低時不超過 88°, 向上上升時不超過77°

Mahr馬爾MarSurf XC 2輪廓儀
水平驅動長度 : 120 mm
輪廓垂直測量范圍 : 5 0mm (相對零點為+/-25mm)
測力 : 2mN ......120mN.
直線度誤差: < 1um / 120mm
X/Z方向定位精度: 1 um
測針分辨率: 0.25 um/ 175 mm 測桿
0.5 um/ 350 mm 測桿
系統分辨率: 0.04 um
掃描速度 : 0.2 mm/s 至 4 mm/s
測量速度 : 0.1mm/s .....4mm/s
測角 : 在光滑表面可抬升 + 12 mm
下降角度到880, 上升角度為770.
測量傾斜: 驅動器可傾 斜±45o以上進行測量