MarSurf LD 120. 二合一. 一次掃瞄可完成對輪廓及粗糙度測量
技術特征
? 磁性測臂夾持裝置可以支持不同的測頭, 具有大的適用范圍, 保證高水平可靠性的大前提下, 測臂可輕松更換
? 更換測頭后的定位精度為納米級, 防撞保護、堅硬和高穩定的測頭具有納米級的分辨率
? 可靠的測量結果, 得益于高精度的校準過程

技術數據
掃瞄長度 (X方向) 0.1 mm 至 120 mm (0.0039 in 至 4.72 in)
測量范圍 (Z方向) 10 mm (0.39 in), 適用于100 mm (3.94 in) 測臂(標準)
20 mm (0.79 in), 適用于 200 mm (7.87 in) 測臂
測量系統 ：光學干涉測量系統
標準測頭測尖 LD A14-10-2, 剛鉆 2 μm (79 μin), 90°和 LD A-14-10-500 (輪廓)
分辨率(Z方向) 2 nm (0.08 μin)
水平測量軸 玻璃光柵尺
測量間距X軸 0.05 μm 至1 μm (20 μin 至 40 μin)
測力 0.5 mN 至 30 mN (通過軟件調整)
測量速度 0.1 mm/s 至 2.0 mm/s (0.0039 in/s 至 0.079 in/s)間隔 0.1 mm/s (0.0039 in/s) 對輪廓測量0.1 mm/s 至 0.5 mm/s (0.0039 in/s to 0.020 in/s)對粗糙度測量
位定及返回速度 X 方向 4 mm/s (0.16 in/s)
行程偏差 0.12 μm/20mm (4.72 μin/0.79 in)
0.25 μm/60 mm (9.84 μin/2.36 in)
0.4 μm/120 mm (15.75 μin/4.72 in)
角度測量 u95 <>
半徑測量 u95 = ± 0.01 % 對標準值 R 12.5 mm (0.49 in) D
距離測量 ± (1+L/100) μm