2"，空氣軸承主軸，直流無(wú)刷，轉(zhuǎn)速高達(dá)60krpm。
兼容 2"-3" 輪轂和無(wú)輪轂刀片。覆蓋8"的圓形產(chǎn)品。
針對(duì)各種產(chǎn)品進(jìn)行優(yōu)化，如：
? 硅晶圓
? 薄膜設(shè)備
? 高亮LED封裝
? SAW過(guò)濾器
? 玻璃晶片，紅外濾光片
? PZT換能器
系統(tǒng)規(guī)格：
工件尺寸：∅200 mm
刀片尺寸：2"-3"
主軸：空氣軸承，直流無(wú)刷，60 krpm/2.4 kW
分度軸（Y）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
控制：線(xiàn)性編碼器
分辨率：0.1 µm
累積精度 (∅200): 1.5 µm
分度精度：1.0 µm
傳送軸（X）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)
分辨率：0.2 µm
重復(fù)精度：1.0 µm
旋轉(zhuǎn)軸 (θ)
驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷
分辨率：4 arc-sec
行程：350度
視覺(jué)系統(tǒng)
數(shù)字?jǐn)z像頭
高亮LED照明（直射和斜射）
持續(xù)數(shù)字變焦：x 70 - x 280 或 50 - x 200（可選）
清洗臺(tái)
沖洗和干燥循環(huán)
旋轉(zhuǎn)速度：100-2,000 RPM
清洗方法：二流體/霧化功能
晶圓處理系統(tǒng)
插槽至插槽完整性和首檢抽屜
可選件
BBD（破刀探測(cè)器）
紫外線(xiàn)固化
ESD（防靜電）套件
條形碼讀取器
磨刀臺(tái)
360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)
SECS-GEM 主機(jī)通信（可選）
用戶(hù)界面
17" 平面觸摸屏
新用戶(hù)界面（NUI）
多語(yǔ)言支持
鍵盤(pán)與鼠標(biāo)
設(shè)施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源/N2：700 L/分 @ 5.5 bar
500 L/min 壓縮空氣，200 L/min 制程氣體/N2
主軸冷卻水：1.1 L/min
切割用水（去離子水/廠(chǎng)務(wù)端用水）：刀片/過(guò)程冷卻水：7L/min
尺寸（WXDXH）：
∅200: 965 x 1,460 x 1,700 mm
重量∅200：1,200 kg
