ADT 6110是一款高精度、高性能性能半自動切割機。其機身寬度為490mm,占地面積小,結合全新設計的操作系統,提供高效、低使用成本的切割體驗。
規格
刀片尺寸2英寸
工件尺寸6英寸
標配2.2kw高轉速主軸(0.34N·m,60,000rpm)
θ軸 DD馬達驅動,回轉精度、回轉分辨率高
自動校準,自動切割,刀痕檢測
操作簡易
17英寸觸摸平 + GUI操作系統
殘片識別功能
檢查位置一鍵直達
多用途
精密加工碳化硅晶圓、陶瓷、玻璃等材質
高生產率
基于X,Y,Z軸的結構和運動的優化設計,大幅提高生產效率
緊湊設計
占地面積小到
工作盤尺寸 | φ 150 mm | |
X軸 | 切割范圍 | 160 mm |
進刀速度范圍 | 0.1~800 mm/s | |
Y軸 | 切割范圍 | 162 mm |
單步步進量 | 0.0001 mm | |
定位精度 | 0.001/160 mm | |
Z軸 | 行程 | 32.2mm(2英寸刀) |
分辨率 | 0.0001 mm | |
重復精度 | 0.001 mm | |
θ軸 | 旋轉角度 | 320 Deg |
主軸 | 類型 | 高速氣懸浮主軸2.2kw |
額定扭矩 | 0.34 N·m | |
回轉速度 | 6000~60000 rpm |