功能介紹:
HYB-2000TA石英管清洗機(jī)是用于清洗PECVD石英管和擴(kuò)散石英管的設(shè)備,用HF酸清洗然后再用純水漂洗,最后用氮氣吹干,適用于直徑6″ – 13″ 長度〈3000mm的石英管清洗.
設(shè)備分為2個清洗槽,2個槽都能夠滿足酸槽要求,為浸泡式清洗,人工裝取工件,頂部有吸風(fēng)罩,由氣動隔膜泵將酸在A槽和B槽之間循環(huán)抽液,實現(xiàn)清洗功能.
技術(shù)參數(shù):
電機(jī)功率 | 120W.220V |
滾動的轉(zhuǎn)速 | 10轉(zhuǎn)/分 |
使用的清潔劑 | HF |
壓縮空氣 | 0.5Mpa—07Mpa |
外型尺寸(L*W*H) | 4100*1410*1950mm |