● 激光在線能量實時監測
● 4臺激光器同步工作
● 隱裂NG前端剔料
● CCD自動矯正定位
● 智能反饋
● 運行穩定,便于維修
| 項目 | 技術參數 |
| 設備型號 | G6009 |
| 激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
| 激光壽命 | ≥20000小時 |
| 平臺精度 | 重復精度±0. 5um ，定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
| 平臺運行速度 | 運行速度800mm/s ，速度1000mm/s |
| 平臺運行加速度 | 運行加速度1.8G ，加速度2. 5G |
| 平臺切割范圍 | 300* 300mm |
| 適應產品尺寸 | 4 -8寸晶圓 |
| 適應材質 | 藍寶石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
| 控制及軟件 | LASER STUDIO ，集成視覺 、激光和運動 |
| 設備重量 | 2500kg |
