● AGV對(duì)接花籃自動(dòng)上下料
● 8臺(tái)激光器同步工作
● 隱裂NG前端剔料
● CCD自動(dòng)矯正定位
● 智能反饋
● 運(yùn)行穩(wěn)定,便于維修
設(shè)備型 號(hào) | G 9009 |
激光器 | 4固體皮秒激光+4紅外激光 |
激光壽命 | > 20000小時(shí) |
適用硅片尺寸 | 182 * 182 m m ~ 230 * 2 30 m m |
適用 硅片厚度 | > 1 1 0 u m |
產(chǎn) 能 | 1 82尺寸 ≥9000片/小時(shí) ( 柵線數(shù)量 ≥ 1 80 ) ; 2 1 0尺寸 ≥8000片/小時(shí) ( 柵線數(shù)量 ≥ 1 80 ) |
稼動(dòng)率 | > 9 8 % |
上料花籃 | 5X2 + 1 + 1 |
單 晶碎片 率 | ≤0. 025% |
M T T R | ≤2 h |
M T B F | > 50 0 h |