● 最小光斑尺寸1um以下
● 鏡頭倍數(shù)2X-50X自動(dòng)切換
● 自動(dòng)AOI識(shí)別缺陷
● 手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)三種工作模式
● 支持圖形繪制修復(fù)模式
● 支持組網(wǎng)支持MES系統(tǒng)
項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
設(shè)備型號(hào) | G6001 |
激光器 | 50uj@1030nm,300fs,5W,0-1000KHz |
平臺(tái)精度 | 重復(fù)精度±0.5um,定位精度±1um@20℃±1℃ |
平臺(tái)運(yùn)行速度 | 運(yùn)行速度100mm/s,速度1000mm/s |
平臺(tái)運(yùn)行加速度 | 運(yùn)行加速度1.8G,加速度2.5G |
修復(fù)范圍 | 300*300mm |
電動(dòng)狹縫 | 0-2.5mm,步距0.1um,±45度可調(diào)±1度 |
WDI | 相應(yīng)時(shí)間50us |
相機(jī) | 2000W像素,≤1微米 |
自動(dòng)對(duì)焦 | 3s |
鏡頭切換 | 0.5S |
AOI時(shí)間 | 5s/3亮點(diǎn)平方英寸 |
修復(fù)像素形狀 | 條形、矩形、方形、菱形、圓形、多邊形 |
修復(fù)產(chǎn)品 | Micro LED,Micro OLED HD,F(xiàn)HD,QHD,UHD 亮點(diǎn)修復(fù) |