● 超高的加工精度
● 斜裂方向檢測，防止誤切割
● 多焦點切割，裂片直線度好，極小的斜裂角
● 側壁光滑，產品電測性能好
● 適應4-8寸Mini LED晶圓
● 運行穩定， 便于維修
| 項目 | 技術參數 |
| 設備型號 | G6002 |
| 激光器 | 1064nm 5W ≦10ps |
| 激光壽命 | ≧20000小時 |
| 平臺精度 | 重復精度±0.5um，定位精度±1um@20℃±1℃ |
| 平臺運行速度 | 運行速度800mm/s，速度1000mm/s |
| 平臺運行加速度 | 運行加速度1.8G，加速度2.5G |
| 平臺切割范圍 | 300*300mm |
| 適應產品尺寸 | 4-8寸晶圓 |
| 適應材質 | 藍寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm |
| 控制及軟件 | LASER STUDIO，集成視覺、激光和運動 |
| 設備重量 | 2500kg |
