應用：
6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰等材料的精密切割；廣泛用于IC集成電路，LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、、閃爍晶體等行業。
其他特征：
低氣壓、水壓、工作臺伺服、轉臺伺服、主軸驅動、測高系統、控制系統的故障報警，操作腔門安全鎖，漏水檢測、主軸電流監控、真空不足保護功能。
技術指標：
| 工作物尺寸 | mm | ? 6"或160mm×160mm方形 | ||
| X軸
| 可切削范圍 | mm | 165 | |
| 進刀速度輸入范圍 | mm/s | 0.1 - 500 | ||
| Y軸
| 可切削范圍 | mm | 165 | |
| 單步步進量 | mm | 0.0001 | ||
| 定位精度 | mm | 0.003以內/165 0.002以內/5 （單一誤差） | ||
| Z軸
| 有效行程 | mm | 35(使用?2"切割刀片時) | |
| 移動量分辨率 | mm | 0.00005 | ||
| 重復精度 | mm | 0.001 | ||
| 可使用的切割刀片直徑 | mm | ? 58 | ||
| θ軸 | 旋轉角度 | deg | 320 | |
|
| 轉角精度 | ″ | 15（直驅電機） | |
| 主軸
| 額定輸出功率 | kW | 1.5（1.8、2.4可選） at 30,000 min-1 | |
| 額定扭矩 | N?m | 0.48 | ||
| 旋轉數范圍 | min-1 | 3,000 - 40,000 （60,000*） | ||
| 可使用的框架 | - | 6寸 | ||
| 其他 規格
| 電源 | V | 三相AC380V ±10％ 上述以外需配置變壓器 | |
| 耗電量 | 加工時 | kW | 0.5（參考值） | |
| 暖機時 | kW | 0.3（參考值） | ||
| 耗電量 | kVA | 3.2 | ||
| 壓縮空氣供給壓力 | Mpa | 0.5 - 0.8 | ||
| 壓縮空氣消耗量 | L/min（ANR） | 185 | ||
| 切削水壓力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | ||
| 消耗量 | L/min | 4.0 | ||
| 冷卻水壓力 | Mpa | 0.2 - 0.4 | ||
| 消耗量 | L/min | 1.5（在0.3MPa時） | ||
| 排風量 | m3/min | 1.5 | ||
| 設備尺寸（W × D × H） | mm | 600 × 970 × 1,600 | ||
| 設備重量 | kg | 約600 | ||
使用條件：
1. 請將機器設在20~25℃的環境中（波動范圍控制在±1℃以內）；室內濕度＜80%，無凝結。
2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下，殘余油份為0.1ppm，過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。
3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃（波動范圍在±1℃以內），冷卻水的水溫控制為與室溫相同（波動范圍控制在±1℃以內）。
4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外，請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置以及產生油污的裝置附近。
5. 請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。
6. 請嚴格按照本公司產品使用說明書進行操作。
