這種質量流量計的量程可擴展到15,000 sccm。具有的動態量程和超緊湊尺寸的特點。
技術優勢
·的動態量程
·出色的可重復性
·超緊湊的尺寸
·專為OEM客戶設計
參數 | 單位 | 典型值 |
流量范圍 | sccm | 0-15,000 |
外形尺寸 | mm | 50×52×22(質量流量控制器OEM模塊) |
流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取較大值 | |
Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取較大值 | |
Resolution | % F.S. | 0.1 |
Remarks | 如您需要更為詳細的資料,敬請查閱產品相關的技術規格書 |
Axetris質量流量技術被用于眾多行業,廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。
■ 分析儀器
氣相色譜分析 | 質譜分析 | 原子光譜分析 |
元素分析 | 熱值分析 | 生物反應器和發酵設備 |
■ 工業領域
泄漏測試 | 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫療領域
氧氣混合設備 | 通風裝置及呼吸設備控制 |