緊湊的質量流量控制器配有RS-485通訊接口,基于Axetris的鉑金MEMS技術(MEMS:微電子機械系統(tǒng))它提供了以下的優(yōu)勢。
·超緊湊的外形尺寸
·快速的穩(wěn)定時間<150 ms
·的重復性和精度
·堅固的設計
·高量程比<1000:1
·的長期穩(wěn)定性
它被推薦用于獨立的應用和集成在工業(yè),分析和醫(yī)療系統(tǒng)上的應用。
參數(shù) | 單位 | 典型值 |
流量范圍 | sccm | 20,50,100,250,1000,3000 |
目標氣體 | N2,Air,O2,CO2,Ar,He,H2 | |
流量精度0-10% | % F.S | 0.2(250sccm,N2,4bara) |
流量精度10-99% | % O.R | 1(250sccm,N2,4bara) |
穩(wěn)定時間 | ms | < 150 |
供電電壓 | V | 24 |
模擬量輸入 | V | 0…5 |
模擬量輸出 | V | 0…5 |
數(shù)字量輸入輸出 | RS-232 EIA |
Axetris質量流量技術被用于眾多行業(yè),廣泛應用于氣相色譜、泄露檢測、熱分析、質譜、鍍膜技術、等離子技術以及其他眾多的領域。
■ 分析儀器
氣相色譜分析 | 質譜分析 | 原子光譜分析 |
元素分析 | 熱值分析 | 生物反應器和發(fā)酵設備 |
■ 工業(yè)領域
泄漏測試 | 薄膜鍍層控制 | CO2激光切割 |
■ 醫(yī)療領域
氧氣混合設備 | 通風裝置及呼吸設備控制 |