●采用光譜共焦技術(shù),非接觸測(cè)量,避免對(duì)鏡片造成二次損傷和污染
●可實(shí)現(xiàn)高頻率采集,操作方便,測(cè)量值實(shí)時(shí)顯示
●檢測(cè)速度快,高性能納米級(jí)檢測(cè)設(shè)備,可在8ms內(nèi)實(shí)現(xiàn)重復(fù)性高精度的檢測(cè)
●檢測(cè)精度可以達(dá)到±0.1um
●可以根據(jù)用戶現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)線的實(shí)際情況實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)檢測(cè),進(jìn)行非標(biāo)定制