鏡片種類

· 鏡面形狀：平面，凸面，凹面，球面，圓柱面等

· 適用于各種波長的多層鏡

· 各種單層薄膜（金屬，碳化物，氧化物等）鏡面

· 大型多層膜鏡（可達φ300mm）

· 高耐熱多層鏡

※ 我們也可提供硬X射線相關產品。

產品實例

Mo / Si多層鏡

· 這是一款可在13至30nm波長下使用的多層膜鏡；
· 它能夠反射，濃縮和分離EUV光， 多用于EUVL，X射線望遠鏡，X射線顯微鏡，等離子體診斷，高次諧波利用等實驗；
· 我們還制造耐熱多層鏡（具有阻擋層的多層膜），其間插入有中間層。
(H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)

X射線鏡的示例性截面結構和X射線反射的結構視圖：

反射實際測量值（直接入射角：2度）：

各種Mo / Si多層鏡：

φ100毫米凹面鏡：

φ12英寸平面鏡：

用于Schwarzschild光學系統的凹面鏡：

分裂凹面鏡：

EUV鏡

EUV寬帶鏡和EUV窄帶鏡

· EUV寬帶反射鏡是一種多層反射鏡，可在比通常的多層薄膜更寬的波長范圍內反射，并用于多個階上的亮線反射。
· EUV窄帶鏡是具有比通常的多層膜窄的波長半值寬度的多層鏡，并且它可以用于光譜測量等以選擇特定的發射線。

反射實際測量值（入射角：垂直入射2度）：

圖例為EUV寬帶球形多層反射器。 一個Mo / Si寬帶多層膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的圖像：

EUV分級鏡

· 這是一款多層膜鏡，它具有可精確控制的周期長度，該周期長度對應于在基板表面內變化的入射角。 可以在整個基板表面上實現高反射率。

· 我們將在直徑大于300毫米的彎曲基板上形成分級鏡。

掠入射鏡/全反射鏡

· 這款產品是用于EUV區域中的傾斜入射光學系統的全反射鏡。
· 我們將在各種基材（平面，凸面，凹面，球面，非球面，圓柱面等）上形成金屬，碳化物和氧化物。

反射實際測量實例（Ru單層涂層，入射波長13.5 nm）：

反射實際測量實例（SiC單層涂層，入射角10度）：

用于30nm波長的SiC / Mg多層鏡

· 這款產品是用于波長約30nm的高反射多層膜。
(H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
· 它還可用于EUV光條件下的各種應用（空間觀察，使用高次諧波的各種實驗）。

反射實際測量實例（入射角：垂直入射2度）：

φ1英寸凹面鏡：

用于6nm波長的Cr / C＆CoCr / C多層鏡

· 這是一款在6nm波長附近使用的多層膜鏡。
· 它被開發為用于會聚光學系統的多層鏡，多用于顯微光電子能譜。

(H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)

反射實際測量實例（入射角：垂直入射2度）：

其他實例

若您需要制作以下其他類型的各種多層鏡和全反射鏡，也請隨時與我們聯系。