EUV濾光片

由于它是一款自立式EUV濾光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優異，因此與通常的過濾器相比，透過率的劣化小。

主要用途

· 將高次諧波從基波中分離出來；

· 去除不需要的波長，如同步輻射，等離子體X射線等；

· 預防等離子體X射線中的碎片；

· 真空窗，差壓窗口

對應波長區

· 可以對應于每個極紫外線和軟X射線波長區域。

· 近波長13.5nm（Zr過濾器）

· 近波長29.6nm（鋁過濾器）

· 近波長61.5 nm（Sn濾光片）

支撐薄膜

· 它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；

· 聚合物膜支撐過濾器；

· 網格支撐濾器；

· SiN膜支撐濾器；

聚合物膜支撐過濾器 網格支撐過濾器 膜支撐過濾器

其他種類

各種材料透射率的計算值（膜厚度：100nm）：

我們還設有層壓膜過濾器，硬X射線過濾器等產品。