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晶圓校準器不受晶圓材質（新產品【SAL3000HV系列】全自動調整功能對應版本）

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產品型號SAL3000HV

品牌

廠商性質其他

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更新時間：2024-12-19 17:12:33瀏覽次數：13次

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北京銳潔機器人科技有限公司

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商鋪產品：25條

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產品簡介

適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動調整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準功能。

詳細介紹

JEL研發的可對應多種類型晶圓的新型Aligner【SAL3000HV系列】全自動對應版本。
2016年12月14日之后出廠的校準器產品都配有校準工具軟件。
*詳細情報【JEL ALIGN TOOL】軟件.

使用了新技術的可用于多種材質晶圓的新產品

PE-CVD設備；AOI設備

被搬運物	SEMI規格晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓) (其他可根據特殊晶圓的形狀，材質為客戶提供靈活的定制設計) 2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV) 100-200 mm (SAL3482HV) 200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度	晶圓中心：±0.1 mm以內晶圓缺邊（缺口）：±0.1度以內
位置確定所需時間	3秒（不包括晶圓的取放時間）
傳感器	LED燈照明+圖像識別傳感器的方式對晶圓邊緣進行檢測
位置校正范圍	半徑4mm以內
晶圓吸附方式	真空吸附式
潔凈度	ISO標準 Class 2(驅動結構內部獨立排氣條件下)
質量	大約10 kg
廠務	電源：DC24V±10% 3A 真空：-53 kPa以上