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北京銳潔機器人科技有限公司
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產品,穩定性好,性價比高,也可用于搬運托盤
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PE-CVD設備;刻蝕設備;高溫PVD設備
被搬運物 | ?300 mm晶圓 | ||
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手臂 | 旋轉 | 升降 | |
可動范圍* (手臂第3關節中心基準) | 520 mm | 330度 | 40 mm |
搬運速度 (平均速度)* | 300 mm/sec | 120度/sec | 20 mm/sec |
搬運速度 (速度)* | 550 mm/sec | 170度/sec | 30 mm/sec |
精度* | 82 µm | 0.009度 | 1.25 µm |
搬運高度* | 98 mm(法蘭安裝面到手指安裝面的高度) | ||
重復性精度 | ±0.1 mm以內 | ||
潔凈度 | 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置 | ||
耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
廠務 | 電源:DC24V±10% 8A |
*測試機型:SVCR3260-040-PM(步進電機規格)(中具有代表性的標準品)
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