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3軸圓柱坐標型真空潔凈機械手臂

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具體成交價以合同協議為準

產品型號SVCR3000

品       牌

廠商性質其他

所  在  地北京市

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更新時間:2024-12-19 17:02:54瀏覽次數:10次

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產品簡介

產品,穩定性好,性價比高,也可用于搬運托盤

詳細介紹

特點

    產品,穩定性好,性價比高,也可用于搬運托盤

  • 機械手臂標準臂長:160 mm,190 mm,260 mm,330 mm
  • Z軸(升降軸)標準長度:20 mm,40 mm
  • 可搬運重量:手臂第3關節處基準2kgf以下(臂長160 mm,260 mm,330 mm)
                         手臂第3關節處基準3 kgf以下(臂長190 mm)
  • 手臂關節處使用磁流體密封裝置
  • 真空密封:磁流體密封及波紋管
  • 提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5 µm級過濾器
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸采用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
  • 可以選配伺服電機規格
  • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
  • 晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式
  • 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供優選的手指

應用設備實例

PE-CVD設備;刻蝕設備;高溫PVD設備

規格
被搬運物 ?300 mm晶圓
  手臂 旋轉 升降
可動范圍*
(手臂第3關節中心基準)
520 mm 330度 40 mm
搬運速度 (平均速度)* 300 mm/sec 120度/sec 20 mm/sec
搬運速度 (速度)* 550 mm/sec 170度/sec 30 mm/sec
精度* 82 µm 0.009度 1.25 µm
搬運高度* 98 mm(法蘭安裝面到手指安裝面的高度)
重復性精度 ±0.1 mm以內
潔凈度 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置
耐真空度 1.33×10-6Pa
廠務 電源:DC24V±10% 8A

*測試機型:SVCR3260-040-PM(步進電機規格)(中具有代表性的標準品)

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