MARTINTRIER X射線檢測(cè)系統(tǒng),使用的平板探測(cè)技術(shù),樣品平臺(tái)通過(guò)
伺服電機(jī)操控,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的安全無(wú)碰撞檢測(cè)。產(chǎn)品通過(guò)智能化軟件,可以
實(shí)現(xiàn)樣品的快速簡(jiǎn)單的全自動(dòng)檢測(cè)。 X射線檢測(cè)系統(tǒng)在晶圓制造、半導(dǎo)體、
表面貼裝、SMT印刷電路板裝配、汽車(chē)電子、醫(yī)療、研究所等領(lǐng)域得到廣泛
應(yīng)用。
設(shè)備特點(diǎn)
主機(jī)架構(gòu)部分
符合人體工程學(xué)工業(yè)設(shè)計(jì)理念 可傾倒懸臂,便于多方位觀測(cè),抽拉式平臺(tái)設(shè)計(jì)便于維護(hù).
X射線管部分
采用日本濱松或德國(guó)YL射線源,密閉管&開(kāi)放管透射式設(shè)計(jì), 750nm,950nm,3um,5um分辨率可選
運(yùn)動(dòng)部分
自主研發(fā)的六軸連動(dòng)自動(dòng)控制系統(tǒng) 使用新型Ethercat總線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng), 全伺服電機(jī)控制、機(jī)械運(yùn)動(dòng)防碰撞保護(hù)
高壓發(fā)生器部分
高壓有80KV ,90KV, 100KV,130KV,160KV, 240KV
軟件部分
軟件獨(dú)立開(kāi)發(fā),擁有多項(xiàng)軟著 多階氣泡測(cè)量、序列圖生成
探測(cè)器部分
CMOS平板探測(cè)器幀頻:10,30,45,60,90幀 (可選)
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 描述 |
幾何放大倍率 | 300-2000倍(可選) |
系統(tǒng)放大倍數(shù) | 6000倍 |
樣品檢測(cè)尺寸 | 650*550mm |
檢測(cè)區(qū)域 | 500*450mm |
探測(cè)器旋轉(zhuǎn)角度 | 0~65度 |
樣品臺(tái)承重 | 5~10KG |
運(yùn)動(dòng)軸數(shù) | 6軸 |
驅(qū)動(dòng)馬達(dá) | AC伺服馬達(dá) |
人機(jī)操作及資料存儲(chǔ) | PC系統(tǒng) |
操作系統(tǒng) | WIN 10 64位操作系統(tǒng) |
X射線安全性 | 泄漏量< 1 uSv/hr (符合國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)) |
光管類(lèi)型 | 開(kāi)管或閉管可選 |
分辨率 | 0.75/0.95/3/5um(可選) |
功率 | 0~50瓦(可選) |
電壓 | 80KV、90KV、100KV、130KV 、160KV、240KV可選 |
靶材質(zhì) | 鋁靶/鎢靶/金剛石靶 |
探測(cè)器類(lèi)型 | CMOS |
像素分辨率 | 200萬(wàn)像素 |
幀率 | 10~90幀/秒可選 |
灰度值 | 16 Bit,>65000 greyscale levels |
顯示器 | 23.8英寸高清不頻閃雙顯示器 |
主機(jī)電源消耗 | 1000W |
機(jī)臺(tái)尺寸 (mm) | 1564W×1609D×1985H |
主機(jī)重量 | 2000KG |
外觀尺寸